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Y₂O₃-SnO₂常温气敏薄膜的Sol-Gel制备及性能研究

方国家 , 刘祖黎 , 吉向东 , 王汉忠 , 黄宜军 , 姚凯伦

无机材料学报

以无机盐ＳｎＣｌ_２·２Ｈ_２Ｏ，Ｙ（ＮＯ_３）_３·６Ｈ_２Ｏ为原料，无水乙醇为溶剂，采用溶胶－凝胶工艺制备了Ｙ_２Ｏ_３掺杂的ＳｎＯ_２薄膜．采用差热－失重分析研究了Ｙ_２Ｏ_３掺杂的ＳｎＯ_２干凝胶粉末的热分解、晶化过程．研究了Ｙ_２Ｏ_３－ＳｎＯ_２薄膜的电学和气敏性能．从实验中得到了Ｙ_２Ｏ_３掺杂份量对ＳｎＯ_２薄膜电学及气敏性能的影响．实验表明Ｙ_２Ｏ_３掺杂的ＳｎＯ_２薄膜在常温下对ＮＯ_ｘ具有较好的灵敏度和选择性，并具有较好的响应恢复性能；在常温下对Ｈ_２Ｓ气体也具有一定的灵敏度．

关键词: sol-gel工艺 , electrical and gas sensitive properties , sol-gel technique