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微波烧结碳化硅的制备

郝斌

材料热处理学报

以硅粉为硅源,乙炔炭黑为碳源,通过微波加热的方法制备碳化硅.研究反应物密实度和反应物粒度对产物碳化硅粒度和形貌的影响,利用SEM和TEM等手段观察碳化硅的形貌.结果表明:采用自由堆积的乙炔炭黑和硅粉为反应物时,硅粉、碳粉表面存在的氧与其发生反应生成的SiO和CO,再通过气-气反应生成SiC晶须,生成产物包括SiC颗粒和晶须.当反应物加压后,生成的SiO与Si和C反应生成SiC颗粒,产物中只包括SiC颗粒.乙炔炭黑和硅粉反应过程中SiC通过扩散机制生成,碳颗粒的粒度决定了生成的SiC的粒度.

关键词: 微波烧结 , 碳化硅 , 密实度 , 粒度

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