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溶胶-凝胶法制备Ba_xSr_1-xTiO₃铁电薄膜的研究

王静 , 兰艳梅 , 王伟 , 杨彩琴 , 刘明登

无机材料学报

介绍了Ｓｏｌ－ｇｅｌ法制备Ｂａ_ｘＳｒ_1－ｘＴｉＯ_３铁电薄膜的工艺参数．在溶胶中加入一定体积百分含量的干燥化学控制添加剂（ＤＣＣＡ）可有效的防止薄膜开裂．通过ＩＲ、ＸＲＤ谱图、Ｃ－Ｖ回线、Ｉ-Ｖ曲线等测试方法比较了金属醇盐法和以部分醋酸盐代替醇盐法制备薄膜的微观结构和性能．实验结果表明；全部采用醇盐为原料制备的ＢＳＴ薄膜性能较好．通过两种方法制备ＢＳＴ薄膜性能的差异，本文提出了这两种方法的成膜机理．

关键词: 溶胶-凝胶法 , barium stronium titanate , ferroelectric thin-film