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SnO₂气敏元件灵敏度及选择性的复阻抗分析

傅刚 , 陈志雄 , 张进修

无机材料学报

运用复阻抗谱方法，在不同浓度乙醇与汽油气体中，测试SnO₂厚膜气敏元件的电抗-频率关系曲线，由电抗的变化来标定元件的灵敏度．与以往的测试采用直流电参量标定灵敏度相比，复阻抗测试不仅提高了元件的灵敏度，而且显著改善了选择性．该结果表明复阻抗测试不仅反映元件在气体吸附或解吸时晶粒间界处晶界电阻的变化，也反映了晶界电容的变化，因而更能体现气敏机制的本质．

关键词: SnO₂厚膜 , alcohol sensor , complex impedance , sensitivity , selectivity