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丁士进 , 张庆全 , 张卫 , 王季陶
无机材料学报
以正硅酸乙酯（ＴＥＯＳ）和八氟环丁烷（Ｃ４Ｆ８）为原料，采用等离子体增强化学气相淀积（ＰＥＣＶＤ）方法制备了氟碳掺杂的氧化硅薄膜（ＳｉＣＯＦ）．样品的Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）和傅立叶变换红外光谱（ＦＴＩＲ）分析表明薄膜中含有Ｓｉ－Ｆ、Ｓｉ－Ｏ、Ｃ－Ｆ、Ｃ－ＣＦｘ、ＣＦ2等构型．刚淀积的薄膜的折射率约为１．４０．对暴露在空气中以及在不同温度下退火后薄膜的折射率做了测量，并对其变化机理进行了讨论，同时表明了理想的淀积温度应是３００℃．
关键词: 等离子体增强化学气相淀积 , SiCOF film , XPS , FTIR , refractive index
陈丹平 , 姜雄伟 , 朱从善
用Ｘ射线光电子能谱和拉曼光谱方法研究了Ｂｉ２Ｏ３－Ｌｉ２Ｏ系玻璃的结构．Ｘ射线光电子能谱显示Ｂｉ２Ｏ３－Ｌｉ２Ｏ玻璃的Ｏ１ｓ电子结合能非常低，甚至低于碱硅酸盐玻璃中断桥氧的Ｏ１ｓ电子结合能，并且Ｏ１ｓ电子结合能随着氧化锂含量的增加而增加．拉曼光谱显示随着氧化锂含量的增加，位于高波数的拉曼振动带朝着更高的方向移动并且强度增加，而位于低波数的拉曼振动带朝着更低的方向移动并且强度下降；这反映了此系玻璃结构中的铋氧多面体的变形程度随Ｌｉ２Ｏ含量的增加而增加．
关键词: 玻璃结构 , Raman scattering spectrum , X-ray photoelectron spectrum
