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ZrO₂掺杂对SnO₂薄膜电性及气敏性的影响

方国家 , 刘祖黎 , 张杰 , 姚凯伦

无机材料学报

本研究不用金属酸盐而以无机盐SnCl₂·2H₂O为主体原料;以Zr（OC₃H₇）₄为掺杂剂;无水乙醇为溶剂，采用溶胶-疑胶（Sol－Gel）工艺制备了不同ZrO₂掺杂份量的SnO₂薄膜.发现ZrO₂掺杂的SnO₂薄膜在常温下对H₂S气体具有较好的气敏性能.同时本文研究了ZrO₂掺杂份量对SnO₂薄膜导电率及气敏性能的影响.

关键词: SnO₂薄膜 , Sol-Gel technique , ZrO₂ dopant concentration , electrical and gas sensing properties