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大功率CO_2激光沉积超硬Si_3N_4膜的性能和组织

冯钟潮 , 郭良 , 梁勇 , 韩健 , 侯万良 , 宁小光

金属学报

用大功率(kW级)CO_2激光在金属基材上通过化学气相沉积获得α-Si_3N_4膜。膜层多为细小的Si_3N_4颗粒组成,与基材有良好的结合,具有超硬和优良的耐磨抗蚀等性能,厚度在5—30μm范围内可控。

关键词: 激光化学气相沉积 , Si_3N_4 film , microstructure , hardness , wear resistance , corrosion resistance

用DC-PCVD装置对钢沉积Si_3N_4薄膜

吴大兴 , 杨川 , 高国庆

金属学报

控制工艺参数，用直流等离于化学气相沉积（DCPCVD）装置，对碳钢、合金结构钢、高速钢等沉积Si3N4非晶态薄膜，并研究了薄膜的成分、结构、形貌及硬度

关键词: 钢 , Si_3N_4 film , DC-PCVD

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