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添加多晶硅废料制备SiC/Si3N4复相结合SiC耐火材料

王婷 , 李勇 , 孙加林

人工晶体学报

以碳化硅、多晶硅废料、金属硅粉为原料,纸浆废液为结合剂,采用反应烧结工艺制备SiC/Si3N4复相结合SiC耐火材料.运用热力学分析了利用多晶硅废料代替部分工业金属硅粉和碳化硅细粉制备SiC/Si3N4复相结合SiC耐火材料的理论可行性.系统地分析了单质硅氮化机理,提出Si首先与N2中的微量氧反应形...

关键词: 多晶硅废料 , SiC/Si3N4复相结合SiC , 热力学