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用纳米非晶Si/N/C粉原位合成Si_3N_4晶须

李亚利 , 梁勇 , 高阳 , 肖克沈 , 郑丰 , 王亚庆 , 胡壮麒

材料研究学报

采用激光诱导有机硅烷气相合成的纳米非晶Si/N/C粉为原料,在1600℃,101.3kPaN2气下,在石墨感应炉中原位制备出α-Si3N4晶须,其直径为0.1-0.5μm,长可达几毫米,纯度较高,无过剩碳及金属杂质

关键词: Si_3N_4 , whiskers , nano-powder , amorphous , Si/N/C

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