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磁控溅射制备Fe/Ti多层膜的结构和磁性

王振军 , 常香荣 , 平爵云 , 田中卓 , 肖纪美 , 闻立时

金属学报

用磁控溅射技术制备了系列Ｆｅ／Ｔｉ纳米多层膜，周期调制在２２—２４０ｎｍ：用透射电镜和小角、高角Ｘ射线衍射分别研究了样品的结构；用振动样品磁强计和Ｍｏｓｓｂａｕｅｒ谱研究了样品的磁性．发现铁层厚度在２ｎｍ附近时存在铁磁性面心立方γ－Ｆｅ，样品的易磁化方向平行于膜面；随调制周期增大，样品的饱和磁化强度增加，矫顽力下降且与结晶状态有关．

关键词: Ｆｅ／Ｔｉ多层膜 , γ-Fe , DC-magnetron sputtering