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应用于MEMS的PZT铁电薄膜

于晓 , 张之圣 , 胡明

无机材料学报

薄膜制备工艺的发展使铁电薄膜很好的应用于MEMS, 使两者集成成为可能. 本文将详细论述铁电薄膜的优良性能, 及其与MEMS集成的关键工艺--图形化. 最后, 举例论述了PZT铁电薄膜在MEMS中的应用.

关键词: MEMS , ferroelectrics thin films , PZT , micro fabrication , pattern