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原词结果 | 译词结果

离子束辅助磁控溅射制备类石墨碳膜的结构与性能研究

赵蕾 , 付永辉 , 刘登益 , 朱晓东 , 何家文

无机材料学报

采用离子束辅助磁控溅射技术(IBMSD)制备了高硬度、低电阻率的类石墨碳膜(GLC), 用TEM和XRD考察其组成相, 用XPS、FTIR和电阻率间接确定其碳键结构, 并测定了不同气体和离子能
量辅助轰击下制备的几组薄膜的沉积速率、成分、硬度和粗糙度等. 结果表明: 采用IBMSD制备的GLC是一种以sp²键为主的非晶硬质碳膜. CH₄辅助轰击较Ar有利于提高沉积速率.
辅助轰击能量的增大使薄膜表面粗糙度先减小后增大, 硬度的变化一定程度上与粗糙度相关.

关键词: 离子束辅助沉积(IBAD) , magnetron sputtering , amorphous carbon coating , structure

无取向硅钢表面纳米结构的渗硅行为

莫成刚 , 刘刚 , 黄璞 , 左良

钢铁

对3%无取向硅钢进行表面机械研磨处理（SMAT），获得表面纳米结构，再进行550~650℃、4h固体粉末渗硅处理，用透射电镜（TEM）、扫描电镜（SEM）和X射线衍射仪（XRD）研究表层组织演变。结果表明：经过SMAT后，3%无取向硅钢表面晶粒尺寸降低至10nm左右，纳米晶层厚度约为20μm。经过550~650℃、4h渗硅处理后，SMAT样品表面形成化合物层，其厚度随着渗硅温度的升高由27μm增加到150μm。化合物层由FeSi和Fe3Si两相组成，其中FeSi相随着渗硅温度的升高而逐渐增加。

关键词: 无取向硅钢 , surface nanocrystallization , siliconizing treatment , structure

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