冀明董伟谭毅孙世海李国斌
材料研究学报
用真空感应熔炼和定向凝固法制备多晶硅, 通过成分测定和理论计算研究了铝杂质的除杂机理。结果表明, 在真空熔炼保温阶段(T ≥1723 K), 硅中的铝杂质明显蒸发; 在随后的定向凝固过程中, 铝杂质的分凝偏析是主要的, 但仍有部分铝蒸发。 建立了一个包括铝分凝和蒸发机制的新模型, 模拟铝在硅中的分布曲线。模拟结果与铝在硅中的实际分布符合得很好。
关键词:
无机非金属材料
,
multicrystalline silicon
,
vacuum induction melting
,
directional solidification
,
aluminum
