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二氧化锡薄膜的电阻气敏和光透射率气敏性能

林殷茵 , 汤庭鳌 , 黄维宁 , 姜国宝 , 姚熹

无机材料学报

以无机盐为原料，采用新颖的溶胶－凝胶工艺制备了具有优良电阻－气敏性能的纳米晶二氧化锡薄膜，其在最佳工作温度 ２００℃对 ６００ｐｐｍ ＣＯ的灵敏度可达 ５００，响应时间和恢复时间分别为１３ｓ和 ２０ｓ．进一步研究了薄膜的光透射率－气敏性能，发现当通 ＣＯ时，透射率下降，最佳工作温度与电阻－气敏性能一致，当提高薄膜的退火温度时，电阻－气敏和光透射率－气敏的灵敏度均下降．分析了产生这些现象的原因．

关键词: 薄膜 , SnO₂ , gas sensitive , transmittance , sol-gel method

脉冲激光沉积ZrW₂O₈薄膜的制备和性能

刘红飞 , 张志萍 , 张伟 , 陈小兵 , 程晓农

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2011.00540

采用脉冲激光沉积法在石英基片上沉积制备了ZrW₂O₈薄膜. 用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)研究了不同衬底温度对薄膜结构组分、表面粗糙度和形貌的影响, 用台阶仪和分光光度计测量薄膜的厚度和不同衬底温度下制备薄膜的透射曲线, 用变温XRD分析了ZrW₂O₈薄膜的负热膨胀特性. 实验结果表明: 在衬底温度为室温、550℃和650℃下脉冲激光沉积的ZrW₂O₈薄膜均为非晶态, 非晶膜在1200℃保温3min后淬火得到立方相ZrW₂O₈薄膜; 随着衬底温度的升高, ZrW₂O₈薄膜的表面粗糙度明显降低; 透光率均约为80%, 在20~600℃温度区间内, 脉冲激光沉积制备的ZrW₂O₈薄膜的负热膨胀系数为-11.378×10^-6 K^-1.

关键词: 钨酸锆 , thin film , pulsed laser deposition , negative thermal expansion , transmittance

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