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Bi₂Sr₂CaCu₂O_8+δ薄膜的分子束外延法制备及结晶性

张炳森李茂林王晶晶孙本哲祁阳

金属学报

在BiO--(Sr+Ca)O--CuO相图上的Bi₂Sr₂CaCu₂O_8+δ(Bi--2212) 相附近选择不同成分, 用分子束外延法制备成薄膜, 利用XRD, EDS,SEM和AFM研究了成分...

关键词: Bi₂Sr₂CaCu₂O_8+δ薄膜 , molecular beam epitaxy , substrate temperature , ozone partial pressure , growth rate , mismatch

衬底温度对Si(111)衬底上MBE异质外延3C-SiC薄膜的影响

刘金锋 , 刘忠良 , 武煜宇 , 徐彭寿 , 汤洪高

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2007.00720

利用固源分子束外延(SSMBE)技术, 在Si(111)衬底上异质外延生长3C-SiC单晶薄膜, 通过RHEED、XRD、AFM、XPS等实验方法研究了衬底温度对薄膜结构、形貌和化学组分的影响. 研究结果表明, 1000℃生长的样品具有好的结晶质量和单晶性....

关键词: 碳化硅薄膜 , Si substrate , solid source molecular beam epitaxy , substrate temperature

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