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溶胶-凝胶法制备ZrO₂缓冲膜的研究

于云 , 王晓萍 , 胡行方

无机材料学报

本文用溶胶-凝胶技术，以无机盐氧氯化锆（ZrOCl₂·8H₂O）为前驱体，在不锈钢表面上制备了含SiO₂相的ZrO₂缓冲膜，并用真空蒸镀法在其上沉积一层厚度为150nm的金膜．通过XRD、FTIR、SEM及AES...

关键词: ZrO₂ , sol-gel , buffer layers , interdiffusion , null