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新型AgInSbTe相变薄膜的结晶活化能研究

张广军 , 顾冬红 , 李青会 , 干福熹 , 刘音诗

无机材料学报

利用磁控溅射法制备了新型AgInSbTe相变薄膜, 热处理前后的X射线衍射(XRD)表明了薄膜在热作用下从非晶态转变到晶态. 通过非晶态薄膜粉末的示差扫描量热(DSC)实验测定了不同升
温速率条件下的结晶峰温度, 计算了粉末的摩尔结晶活化能、原子激活能和频率因子. 从结晶活化能E可以判断出新型AgInSbTe相变薄膜具有较高的结晶速度, 可以用于高速可擦重
写相变光盘.

关键词: 新型AgInSbTe相变薄膜 , crystallization kinetics , XRD , DSC

Ge-Sb-Te-O相变薄膜的结晶动力学研究

顾四朋 , 侯立松

无机材料学报

用磁控溅射法制备了Ge-Sb-Te和Ge-Sb-Te-O相变材料薄膜,由热处理前后薄膜的X射线衍射(XRD)发现,热处理使薄膜发生了从非晶态到晶态的相变.通过非晶态薄膜粉末的示差扫描量热(DSC)实验测出不同加热速率条件下的结晶峰温度,并计算了材料的摩尔结晶活化能、原子激活能和频率因子.根据结晶动力学结晶活化能E判据得出结论为:与Ge-Sb-Te相比,掺杂氧后的Ge-Sb-Te更容易析晶,具有更快的结晶速率.

关键词: Ge-Sb-Te相变薄膜 , oxygen-doping , XRD , DSC , crystallization kinetics

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