马全宝
,
叶志镇
,
何海平
,
朱丽萍
,
张银珠
,
赵炳辉
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2007.01113
通过直流反应磁控溅射法在玻璃衬底上制备了掺镓ZnO(ZnO:Ga)透明导电薄膜, 研究了氧分压对ZnO:Ga透明导电薄膜结构和电光学性能的影响. X射线衍射结果表明所制备的薄膜具有c轴择优取向的六角多晶结构. ZnO:Ga透明导电薄膜的晶粒尺寸强烈依赖于氧分压的大小, 随着氧分压的增大薄膜的晶粒尺寸先增大后减小, 在氧分压为0.30 Pa时沉积的ZnO:Ga薄膜半高宽最小, 晶粒尺寸最大. 薄膜的电阻率随着氧分压的增大先减小后增大, 沉积薄膜的最低电阻率可达3.50×10-4Ω·cm. 此外, 所有ZnO:Ga薄膜在可见光范围内的平均透射率均超过90%.
关键词:
ZnO:Ga
,
transparent conductive oxide film
,
magnetron sputtering
,
oxygen partial pressure
,
electrical and optical properties
李介胜
,
朱丽萍
,
唐海平
,
何海平
,
叶志镇
,
赵炳辉
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2007.00613
采用热蒸发法以锌粉和二水醋酸锌作为源材料在Si(111)衬底上制备了高密度的ZnO微纳米棒, 制得的每根ZnO棒明显分为直径不同的四段. 利用X射线衍射、扫描电镜、透射电镜、拉曼光谱和光致发光谱等测试手段对制备的样品进行了形貌、结构和光学性能的分析, 结果表明制备的ZnO棒晶体质量良好, 仅存在很少量的缺陷. 通过讨论该结构的生长机理, 发现O2分压对制备的ZnO微纳米棒的形貌有显著的影响, 调节O2流量可控制ZnO纳米结构的形貌.
关键词:
热蒸发
,
oxygen partial pressure
,
knot
,
micro- and nanorods
