公衍生
,
涂溶
,
後藤孝
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00391
采用激光化学气相沉积（LCVD）技术在氧化铝衬底上制备了高取向的TiNx薄膜,重点研究了激光功率（PL）、衬底预热温度（Tpre）和沉积总压力（Ptot）对薄膜取向和沉积速率的影响,采用X射线衍射（XRD）、俄歇能谱（AES）和场发射扫描电镜（FESEM）对薄膜组成和结构进行了表征.结果表明：所得到的TiNx薄膜成分均匀,其取向与衬底预热温度有关,随着预热温度的升高,TiNx薄膜的取向由（111）变为（200）,薄膜的取向与其微观结构一致.TiNx薄膜的沉积速率随着激光功率升高而增大,在PL=100W时,达到最大值90μm/h（沉积面积为300mm2）,显著高于采用其它方法制备的TiNx薄膜.
关键词:
TiNx薄膜
,
highspeed deposition
,
orientation
,
laser chemical vapor deposition (LCVD)
傅有君
,
高樟寿
,
王圣来
,
李毅平
,
曾红
,
罗建平
,
段爱东
无机材料学报
发现由五氧化二磷合成的KDP晶体生长原料中含有大量还原性亚磷酸盐杂质．实验表明，亚磷酸盐对晶体锥面生长有显著的抑制作用．低浓度时造成柱面扩展，在高浓度时则使整个晶体的生长速度变慢．这种原料以适当方法提纯后，用“点籽晶”技术进行快速生长实验，平均生长速度达到13．7mm／天．
关键词:
晶体生长
,
rapid growth
,
crystal habit
,
potassium dihydrogen phosphate
,
null
牟晓明
,
王圣来
,
房昌水
,
孙洵
,
顾庆天
,
李毅平
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2007.01103
Ca2+是KDP原料中一种常见的杂质离子, 通过传统降温法和“点籽晶”快速生长法研究了Ca2+离子对KDP晶体生长习性及性能的影响. 实验表明, Ca2+低浓度掺杂时对溶液的稳定性及生长过程没有明显的影响; 高浓度时溶液稳定性有所降低, 经常出现杂晶; 快速生长时, 晶体柱面易出现包藏, 晶体的紫外透过呈下降趋势, 晶体中散射颗粒密度随掺杂浓度的增加而增大.
关键词:
Ca2+
,
KDP crystal
,
crystal growth
,
rapid growth
