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不同退火过程对FeZrBCu软磁合金薄膜巨磁阻抗效应的影响

王文静 , 袁慧敏 , 萧淑琴

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00721

用射频溅射法制备了(Fe88Zr7B5)0.96Cu0.04非晶软磁合金薄膜. 研究了不同退火条件对其巨磁阻抗(GMI)效应的影响. 该样品在自然退火和电流退火热处理后, 纵向GMI比下降, 并随退火电流的增加而增加, 在电流为800mA时达到最大值17%, 磁场灵敏度相对于未退火样品的4%(kA/m)-1有所提高, 达到7%(kA/m)-1. (Fe88Zr7B5)0.96Cu0.04薄膜经不同温度下纵向磁场退火处理后, 样品的纵向和横向GMI比均有所提高, 在250℃获得最大的GMI比, 13MHz时, 最大纵向磁阻抗比达到17.5%, 表现为单峰; 横向磁阻抗比曲线变为双峰结构, 在±0.4kA/m的磁场下, 出现峰值为17.8%.

关键词: 铁基合金 , films , giant magneto-impedance effect , induced anisotropy

磁场沉积态FeCuCrVSiB薄膜的软磁特性和巨磁阻抗效应

陈卫平冯尚申邵先亦萧淑琴刘宜华

金属学报

采用射频溅射法, 在无磁场和施加72 kA/m的纵向磁场下制备了FeCuCrVSiB软磁合金薄膜样品, 对沉积态样品的软磁特性和巨磁阻抗(GMI)效应进行了测量和分析. 结果表明, 在制备过程中加磁场可明显改善材料的软磁性能, 与无磁场沉积态相比, 样品的矫顽力从1.080 kA/m降低到0.064 kA/m, 在13 MHz频率下有效磁导率比从10%增加到106%. GMI效应与磁导率比的大小密切相关. 无磁场沉积态样品没有检测到GMI效应, 而磁场沉积态样品则具有显著的GMI效应. 在13 MHz 的频率下, 最大纵向和横向巨磁阻抗比分别高达22%和20%. 这些结果都优于厚度几乎相同的退火态FeCuNbSiB薄膜的GMI特性.

关键词: FeCuCrVSiB薄膜 , giant magnetoimpedance effect , soft magnetic property

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