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C-H-N体系生长金刚石薄膜

万永中 , 张志明 , 沈荷生 , 何贤昶 , 张卫 , 王季陶

无机材料学报

通过热力学分析从理论计算上给出了C－H－N体系中低压生长金刚石的三元相图．该相图中存在金刚石生长区．不同温度和压强下金刚石生长区几乎都位于CH₄－N连线以下，并且随衬底温度的改变而有显著的变化．随着氮含量的增加，金刚石生长区向碳含量减少的方向移动．使用该相图对优化添加含氮气源生长金刚石的实验条件提供了理论依据．

关键词: 金刚石 , diamond , phase diagram , nitrogen

含氮体系CVD低压金刚石薄膜淀积条件

刘志杰 , 张卫 , 张剑云 , 万永中 , 王季陶

无机材料学报

根据非平衡热力学耦合模型理论首次计算得到了碳氢氮体系的金刚石生长的非平衡定态相图与近几年在国际上发表的该体系实验结果相符合，可以为今后的实验研究提供定量化的理论依据．根据理论相图讨论了系统压力和体系中氮的添加对金刚石薄膜淀积条件的影响．

关键词: 金刚石 , null , null , null , null

低压下用CO+H₂气体制备人造金刚石的相图计算

张卫 , 万永中 , 王季陶

无机材料学报

用非平衡热力学耦合模型计算了低压下由CO＋H₂气体制备人造金刚石的相图．这些相图与经典的平衡热力学理论计算的相图不同，都有一个金刚石生长区．金刚石生长区的存在是实现用CO＋H₂气体制备人造金刚石的热力学基础．本文认为相图中的金刚石生长区是体系中超平衡氢原子和超平衡氧原子对金刚石相和石墨相不同作用的结果．不同压力下相图中金刚石生长区的范围稍有不同，压力降低时，金刚石生长区将向低CO浓度的方向移动．本文还将计算的结果与报道的实验结果进行了对比分析，两者基本相符．

关键词: 金刚石 , phase diagram , chemical vapor deposition

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