董永军
,
周国清
,
杨卫桥
,
苏良碧
,
徐军
无机材料学报
解释了氟化钙晶体能被应用在光刻系统和掀起研究热潮的原因,概述了氟化钙晶体的研究和发展现状,指出了目前氟化钙晶体在研究和发展过程中要解决的重要问题和措施,最后对氟化钙晶体在光刻系统中的发展前景作了展望.
关键词:
氟化钙
,
crystal
,
UV
,
lithography
,
semiconductor
,
null
徐键
,
夏海平
,
张约品
,
章践立
,
王金浩
无机材料学报
表面微结构的制备对获得超疏水性表面和改善生物医学材料性能具有重要意义. 为了制备微米、亚微米和纳米级表面微结构, 本文采用光刻(photo-lithography)和软刻技术(soft lithography)
制备了微米尺寸长方体或圆柱体的阵列, 压印出变形长方体(塔状)或圆柱体(圆盘状)阵列的微结构表面; 采用单分散氧化硅球自集聚紧密堆积而成的胶体晶体为模板, 制备了亚微米/纳米
尺寸网状微结构的表面. 用光学和扫描电子显微镜表征了所获得的表面微结构.
关键词:
微结构
,
micro/nano-structure
,
photo-lithography
,
soft-lithography
