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在Sr 2+ :α-BBO单晶衬底上生长β-BBO薄膜的研究

刘军芳 , 徐军 , 姚武

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.01454

采用液相外延法、脉冲激光沉积法以及气相传输平衡法在Sr 2+ : α-BBO(001) 衬底上生长了质量优异的β-BBO 薄膜, 对薄膜进行了X射线衍射测试以及双晶摇摆曲线分析, 结果表明, 采用Sr 2+ :α-BBO单晶作为衬底制备的β-BBO薄膜具有高的择优取向度和低的半峰宽值. 同目前制备β-BBO薄膜所采用的其他衬底材料相比, Sr 2+ :α-BBO和β-BBO之间具有结构相似、透光范围匹配以及化学稳定性匹配的优点, 表明Sr 2+ :α-BBO单晶将是生长β-BBO薄膜的优异衬底材料.

关键词: Sr2+:α-BBO衬底 , β-BBO thin films , liquid phase epitaxy , pulsed laser deposition , vapor transport equilibration

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