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Ti(C,N)薄膜的复合硬度与本征硬度的研究

徐可为 , 白辰东 , 何家文

金属学报

本文对不同性质的膜─基体系通过确定Ｃ的具体取值对Ｊｏｅｎｓｓｏｎ－Ｈｏｇｍａｒｋ模型予以修正，研究厂等离子体增强化学气相沉积Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）薄膜的硬度及其随成分组织的变化。Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）薄膜具有较小的晶粒尺寸和较高的残余压应力，其硬度远高于一般的整体材料，在确定的。工艺条件下，其值上要取决于膜的含碳量，大体成线性增加关系。

关键词: Ｔｉ（Ｃ , N) film , composite hardness , intrinsic hardness