李胜利
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王佩璇
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阎凤章
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马如璋
金属学报
用真空双源蒸镀法在Si单晶衬底上制备了Fe,Dy原子数比为3:2的Fe─Dy成分调制多层膜.用AES、RBS、X射线衍射(XRD)以及磁性测量分析了Ar~(+)混合前后Fe─Dy多层膜的相交.Ar~(+)离子注入能量110keV,剂量5×10~(15)─1×10~(17)/cm~2.结果表明,注入剂量为1×10~(17)/cm~2时,Fe,Dy完全混合,并且由晶态的Fe,Dy完全转变为Fe_(60)Dy_(40)(近似于该化学配比)的非晶态合金,随Ar~(+)注入量的增加,Fe一Dy多层膜的M_s下降,在剂量50×10~(15)/cm~2时下降幅度最大。
关键词:
Fe─Dy多层膜
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amorpohization
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magnetic property.
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null