杨林
,
龙士国
,
王子菡
,
孙继亮
材料科学与工程学报
铝箔的力学性能通常是采用拉伸法来测量,且测量其弹性模量和残余应力的报道也很少见.本文通过利用鼓膜法结合数字散斑相关法(DSCM)对铝箔变形进行了高精度的全场位移测量,根据测得的薄膜压力与中心挠度关系再结合方形膜鼓膜理论模型,测量了厚度为6μm的铝箔的弹性模量和残余应力.实验测得的铝箔的平均弹性模量为65GPa,由粘接过程中引入的残余应力在12～50MPa之间变化.最后根据实验结果对鼓膜实验进行有限元反分析,结果表明,实验结果与有限元模拟结果基本一致.
关键词:
鼓膜实验
,
铝箔
,
力学性能
,
全场位移
,
DSCM
任凤章
,
郑茂盛
,
刘平
,
贾淑果
,
JU Xihua
,
马战红
,
祝要民
材料研究学报
doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2006.04.002
评述了用鼓膜实验方法测试薄膜与基体界面结合强度的现状和最新进展,分析了该方法针对圆孔、膜内无残余应力柔性膜试样和矩形孔或圆孔、膜内有残余应力试样(薄膜为柔性膜或刚性膜)所用解析解力学模型建立的薄膜力学性能假设前提条件、能量平衡思路和推导过程.介绍了用硅微技术制备Si基体试样的过程,指出了制备方法和解析解力学模型的特点及所存在的问题.给出了该实验方法的应用实例,指出了需要解决非硅基体的制样和薄膜塑性变形阶段力学模型等问题.
关键词:
薄膜
,
鼓膜实验
,
界面结合强度
,
力学模型
,
残余应力
