材料期刊网

GaInAsSb/GaSb 红外探测器抗反膜的研究

刘延祥 , 夏冠群 , 唐绍裘 , 李志怀 , 程宗权

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.03.014

简单介绍了单层抗反膜的增透原理,并以Si片作为基片采用磁控溅射的方法制备了Al2O3、SiO2和ZrO2三种抗反膜.膜层的反射率测试结果表明:生长ZrO2膜后表面反射率下降可达30%;同时通过对GaInAsSb/GaSb PIN 红外探测器蒸镀抗反膜前后的器件的I-V特性及黑体探测率的测试表明:蒸镀...

关键词: 抗反膜 , GaInAsSb/GaSb , 反射率I-V , 黑体探测率