王俊文
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孙彦平
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梁镇海
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徐海萍
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樊彩梅
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陈新谋
稀有金属材料与工程
采用RF-PCVD法,以TiCl4+O2为反应体系,制备出纳米级的TiO2粉体.经TEM,XRD及粒度分布仪测试表明:粉体呈近球形,为锐钛矿型和金红石型的混晶体,粒径范围为15 nm-45 nm,团聚后,粒径≤116 nm的粉体占90%,并对纳米粉体的形成、分布和晶型进行了初步探讨.苯酚降解实验表明,TiO2粉体具有明显的光催化活性.
关键词:
高频等离子体
,
化学气相沉积
,
二氧化钛
,
光催化
展红全
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孙彦平
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徐海萍
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王俊文
钛工业进展
doi:10.3969/j.issn.1009-9964.2004.05.007
采用高频等离子体化学气相沉积法(RF-PCVD)法,以TiCl4 + O2为反应体系,制备出了纳米级的TiO2粉体.TEM、XRD等结果表明,颗粒基本呈球形,粒径小于100 nm.从模拟结果和实验结果可以看出:随着汽化温度升高,停留时间延长,二氧化钛颗粒粒度逐渐增大,同时金红石含量也增加.加入AlCl3晶型转化剂,有助于锐钛相向金红石相转化.
关键词:
高频等离子体
,
CVD
,
纳米
,
二氧化钛
,
数学模拟
王俊文
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孙彦平
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陈新谋
材料科学与工艺
本文分析了以TiCl4+O2为反应体系的RF-PCVD反应器内TiO2气相反应、成核和粒子长大过程,采用分子动力论中的Brownian碰撞理论,经合理简化,建立了粒子长大的动力学模型,该数模为一非线性一阶微分方程,描述TiO2微晶长大的速率.模型表明:粒子的长大速率与温度的1/2次方、TiO2的浓度成正比,与粒径的3/2方成反比;故体系中存在长大过程的自约束现象,在实验条件下,根据粒子长大数模的计算值与实验结果相接近.
关键词:
高频等离子体
,
化学气相沉积
,
纳米粉体
,
二氧化钛
,
动力学
