张映敏
,
罗正祥
,
羊恺
,
张其劭
,
黎涛
,
何健
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2005.02.016
本文在目前国际上正在制订的高温超导薄膜微波表面电阻Rs标准测量方案的基础上,介绍了国内正在研制的测试方法和系统.该系统采用低损耗高介电常数的兰宝石构成工作在TE011δ谐振模式的介质谐振器,在原有研究基础上利用电磁场仿真,改变了输入和输出耦合方式,在77K时,利用它对单片高温超导薄膜Rs进行测试,提高了整个测试系统的品质因素,可成功地用于10×10mm2,10×15mm2和Φ51mm等多种规格样片的测试.整个测试系统体积小,操作方便,且所需实验条件简单,测试灵敏度高,重复性好,对高温超导薄膜无损伤.
关键词:
高温超导薄膜
,
微波表面电阻
,
介质谐振器
,
品质因数
傅瑶
,
杜国平
,
叶志清
,
张兴娇
低温物理学报
本文用脉冲激光溅射沉积法(PLD)在LaAlO3(100)基片上外延生长YB%Cu307-δ掺锆酸钡(BZO)薄膜.用X射线衍射、透射电镜对薄膜结构进行分析.探索PLD沉积的最佳实验参数,最佳沉积温度为800℃,最佳氧分压为25 Pa,最佳沉积频率为3 Hz.
关键词:
YBCO
,
BZO
,
PLD
,
高温超导薄膜
张黄莉
,
赵高扬
,
彭海军
,
刘晓梅
材料导报
高温超导薄膜具有良好的物理性能,其微细图形在微电子器件中有非常广泛的应用.概述了高温超导薄膜微细图形的制备工艺及研究进展,重点介绍了高温超导薄膜微细图形制备方法中的光刻法、改性工艺、耐熔微掩膜制备法和Sol-gel法与化学修饰法相结合的基本原理、工艺特点及最新研究进展.首次把Sol-gel法与化学修饰法相结合制备薄膜的微细图形的工艺用于高温超导薄膜微细图形的制备中.
关键词:
高温超导薄膜
,
微细图形
,
溶胶-凝胶法
,
化学修饰
刘宇
,
陈星斌
,
陈金清
,
姚文俐
,
刘鲁峰
,
杜国平
低温物理学报
采用脉冲激光沉积技术（PLD）在LaAlO3（100）单晶衬底上外延生长YBa2Cu3O7-δ-Y2O3多层薄膜，用X射线衍射技术（XRD）分析薄膜的物相结构和外延特性，通过原子力显微镜（AFM）观察薄膜的表面形貌．本文主要研究了最佳工艺参数下交替生长多层YBCO-Y2O3膜的超导性能．结果表明，WBa2Cu3O7-δ-Y2O3薄膜为纯c轴取向外延生长，临界电流密度Jc（H=0或H／／C）均高于纯YBCO薄膜，纳米Y2O3起到磁通钉扎中心作用．
关键词:
高温超导薄膜
,
PLD
,
Y2O3
,
外延
刘润宝
,
魏斌
,
彭慧丽
,
李宏成
,
曹必松
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2007.01.018
介绍了清华大学物理系研制的一个测量高温超导薄膜微波表面电阻的系统,展示了测量的原理和过程.本系统是按照目前国际上高温超导薄膜的微波表面电阻的测量标准方案(ICE/TC90)选定的 TE011- TE013双介质谐振器法来对超导薄膜进行测量.介质谐振器谐振的中心频率约为11.96 GHz,具有很高的准确性和灵敏度.在液氮(77 K)温度下,用物理所提供的两片YBCO薄膜测量,TE011和TE013模式的无载Q值分别达到5.57×10 5和1.51×10 6, 就我们所知,这是国内所报道的最高Q值.其Rs(77 K,10 GHz)平均值为263微欧.因此,本系统可以较为准确地测量表面电阻很小(300微欧以下)的高温超导薄膜.
关键词:
介质谐振器
,
高温超导薄膜
,
表面电阻
,
品质因素
,
双介质谐振器法
吉争鸣
,
李洪洋
,
孙国柱
,
许伟伟
,
吴培亨
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2005.03.005
高温超导薄膜的表面电阻Rs作为应用超导器件设计和性能衡量的一个重要参数,对超导无源微波元件的设计和开发有很重要意义.准确测量超导薄膜的表面电阻Rs也就非常重要.国际通用的标准测量方案中的理论模型公式是基于高温超导膜无限大的基础上的.考虑到实际超导薄膜的总是有限大的情况,我们从理论上进行了精度分析,在此基础上对此理论模型公式进行了修正,求出基于超导膜有限大时的Rs的表达式,并对两种情况进行了一定的比较.
关键词:
高温超导薄膜
,
表面电阻
赵新杰
,
季鲁
,
陈恩
,
左涛
,
周铁戈
,
陈思
,
阎少林
,
方兰
,
左旭
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2005.z1.047
在3×10×0.5mm3的LaAlO3(001)基片上,利用直流磁控溅射生长一层厚度约为700nm的非晶态Tl2Ba2CaCu2Ox先驱薄膜.将先驱薄膜与热处理过的Tl2Ba2Ca2Cu3Oy块材(作为Tl源)一起在720～860℃温度下退火.为了研究薄膜的初期成核情况,退火时间一般为5分钟.利用XRD和完全抗磁性测试方法对样品的成相情况进行研究,结果显示,在薄膜生长的初期,较高的退火温度可以获得较大尺寸的初期生长核,但是退火温度达到860℃时,初期成核的晶粒尺寸变小.
关键词:
Tl-2212
,
高温超导薄膜
,
生长机理
,
热处理
谢清连
,
黄国华
,
黄自谦
,
王向红
,
张晶
,
方凤才
稀有金属
doi:10.13373/j.cnki.cjrm.2014.04.029
研究了采用溶胶壤胶法在(001)取向的铝酸镧(LAO)单晶衬底上制备Tl2 Ba2 CaCu2O8 (Tl-2212)高温超导薄膜.该方法是以乙酸铊、乙酸钡、乙酸钙、乙酸铜为起始原料,其中,Tl,Cu的含量要略高于Tl-2212超导相中的比例,并以乳酸、α-甲基丙烯酸、二乙烯三胺、三乙烯四胺、甲酰胺、甲醇为络合剂及溶剂,制得粘度合适的溶胶.以旋转涂层方法制备凝胶膜,凝胶膜经过干燥、热分解及后退火等工艺处理后,可得到超导样品.X射线衍射(XRD)的θ-2θ和Φ扫描测试表明,该样品为纯c轴取向的Tl-2212高温超导薄膜,且ab面内织构;电子能谱分析(EDX)和扫描电子显微镜(SEM)测试表明,该薄膜的组分比为Tl∶ Ba∶ Ca∶Cu =2∶2∶1∶2,且具有平整致密的表面形貌;临界温度(瓦)测试表明,薄膜具有良好的超导特性,其瓦可达104.5 K.
关键词:
Tl-2212超导薄膜
,
溶胶-凝胶法
,
高温超导薄膜
陈家俊
,
陶伯万
,
邓新武
,
刘兴钊
,
李德红
,
张鹰
,
何世明
,
李言荣
,
羊恺
,
张其劭
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2003.z1.004
本文采用倒筒直流溅射方法(ICS)结合基片变速双轴旋转方式原位生长Φ3英寸双面YBCO高温超导外延薄膜.膜厚分布最大偏差小于10%,薄膜样品的中心与边缘部分的Tc0均达到90K,ΔTc≤0.3K,FWHM(005)≈0.2°,Rs(10GHz,77K)≈0.8mΩ,Jc值分布在2.2～3.1MA*cm-2之间,表明样品均匀性良好.
关键词:
高温超导薄膜
,
YBCO
,
均匀性
张旭
,
周铁戈
,
孙冬艳
,
何明
,
方兰
,
阎少林
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2005.z1.042
本文介绍一种蓝宝石加载单端短路谐振腔测量高温超导薄膜的方法,并对测量误差进行了较详细的分析.造成测量误差的主要因素有三个:系统无载品质因数 Q0的测量误差,超导薄膜以外损耗品质因数 Qother的实验误差,以及在谐振腔内超导薄膜的几何参数 G的计算误差.大量的实验结果表明,本方法操作简便,重复性好,测量精度高,相对测量误差不超过10%.
关键词:
介质谐振腔
,
高温超导薄膜
,
微波表面电阻
