祝捷
,
唐大伟
工程热物理学报
本文基于双波长飞秒激光抽运 探测系统,建立了非接触式热物性扫描成像系统.实现对具有微米尺度结构材料的表面热物性扫描探测,空间分辨率为6μm.我们采用这种方法对Cu、Sn材料组成的微结构进行了扫描热成像.结果表明该方法可以实现微米结构材料的热物性扫描成像,但是热物性测量结果的准确性与待测样品表面粗糙状况密切相关.因此对于使用该方法进行微米分辨的热物性扫描成像时,对样品表面要进行有效的平滑处理.
关键词:
热扫描成像系统
,
飞秒激光抽运-探测热反射法
,
纳米薄膜
,
热导率
,
微米分辨
