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蒸发—气体—聚集制备的Co-Ag颗粒膜微观结构与巨磁电阻特性

王浩 , S.P.Wong

金属学报

基于溅射-气体-聚焦(SGA)形成纳米金属颗粒的原理, 提出了蒸发-气体-聚集(EGA)共沉积制备Co-Ag颗粒膜的新方法, 并利用该方法制备了系列Co-Ag颗粒膜样品, TEM/ED分析表明;制备态样品Co颗粒被Ag原子所包裹, 能有效地阻止颗粒的表面氧化与团聚, 薄膜无需经过热处理即可形成Co与Ag的相分离, 其结构为fcc-Co和fcc-Ag非均匀相多晶共存形态.

关键词: 颗粒膜 , null , null , null , null

(FeCo)-Ag颗粒膜制备及GMR性能的研究

陈伟 , 成钢 , 武小飞 , 马垒 , 耿胜董 , 顾正飞

稀有金属材料与工程

采用磁控溅射方法制备了一系列的(Fe83Co17)xAg100-x(x=40,45,50,55,60)颗粒膜样品,并利用X射线衍射(XRD)、四探针方法以及振动样品磁强计(VSM)研究了(Fe83Co17)55Ag45颗粒膜沉积态及真空退火后的结构、巨磁电阻效应(GMR)以及磁性能.磁电阻测量表明:当x=55时,厚度为400 nm的制备态薄膜样品(Fe83Co17)55Ag45的GMR值最大,为-8.1%;XRD结果表明,随着退火温度的升高,(Fe83Co17)55Ag45颗粒膜的微结构发生了演变,导致(Fe83Co17)55Ag45颗粒膜的GMR值呈现先增后降的趋势,在150℃达到最大值,其值约为-8.3%;(Fe83Co17)55Ag45样品的磁滞回线显示随着退火温度的不断升高,矫顽力逐渐增大.

关键词: 颗粒膜 , 微结构 , 巨磁电阻效应(GMR) , 磁滞回线

Co-C颗粒膜的结构、磁性能和GMR效应研究

马垒 , 刘仲武 , 曾德长 , 钟夏平 , 成钢

稀有金属材料与工程

采用直流磁控溅射技术,在n-Si (100)衬底上制备了CoxC100-x(x=2.5~50,at%)颗粒膜,并对薄膜的结构、形貌、磁性能和巨磁电阻(GMR)效应做了系统的研究.结果表明:制备态的Co-C薄膜为非晶结构,且表面光滑、颗粒尺寸及膜厚度均匀;随热处理温度的增加,Co成分在300℃逐渐开始晶化,400℃基本晶化完全,500℃度的时候膜层开始出现裂纹;拉曼光谱显示制备态薄膜为类金刚石(DLC)薄膜;X射线光电子能谱(XPS)分析表明,包埋在碳基薄膜中的Co掺杂纳米颗粒以单质形态存在,没有Co的碳化物出现,且Co掺杂没有促进碳膜的石墨化,Co-C纳米复合薄膜组成了一个互不相溶的金属/绝缘体体系;磁性能测试显示薄膜的饱和磁化强度(Ms)和矫顽力(Hc)与Co的含量和颗粒的晶化程度有密切关系;磁电阻测量结果表明Co2.5C97.5薄膜具有高达36%的正GMR效应,GMR效应遵循输运通道的转变机制.

关键词: 颗粒膜 , DLC膜 , GMR效应 , 磁控溅射

Mo-Al2O3金属陶瓷颗粒膜的光学常数研究

周珑 , 王天民 , 杜心康 , 陈步亮 , 茹宁 , 王聪

稀有金属材料与工程

采用磁控溅射技术在不锈钢片上沉积了Mo-Al2O3金属陶瓷混合膜,将Maxwell-Garnett等效媒质理论应用于Mo-Al2O3颗粒膜的光学常数分析,分别以Mo和Al2O3的块体材料和溅射薄膜的光学常数为基础,理论计算了不同金属填充因子金属陶瓷颗粒膜在300 nm~800 nm波段范围内的光学常数n,K随波长λ的变化规律,同时对理论计算结果与实验测试结果之间存在的差异及其产生的原因进行了讨论.

关键词: 等效媒质理论 , Mo-Al2O3金属陶瓷 , 颗粒膜 , Maxwell-Garnett理论 , 光学常数

Ag1-xCox颗粒膜巨磁电阻逾渗模型研究

张栋杰

功能材料

利用离子束溅射方法制备了外加磁场79600A/m的Ag1-xCox颗粒膜,成分用X-ray能谱仪EDAX9100测定;颗粒膜磁电阻采用四端法测量.结果表明,其巨磁电阻随外磁场是线性变化的并用朗道相变理论解释了磁电阻的逾渗现象.

关键词: AgCo , 颗粒膜 , 逾渗 , 巨磁电阻

薄膜巨磁电阻效应及其研究进展

李文涛 , 谢致薇 , 杨元政 , 陈先朝

材料导报

叙述了巨磁电阻效应的两种基本结构--颗粒膜和多层膜.分析了两者的异同、制备方法以及近年来的一些研究成果.在实际测量巨磁电阻效应过程中外界因素对其有很大影响,讨论了如磁场强度、温度、磁性颗粒形状、大小、分布情况、界面构型、非磁性层或颗粒与磁性层或颗粒对测量磁电阻效应数值的影响及其机制.

关键词: 巨磁电阻效应 , 颗粒膜 , 多层膜 , 影响因素

Gdx(Fe83Co17)55Ag45)100-x颗粒膜结构及巨磁电阻效应研究

李林 , 成钢 , 马垒 , 杜玉松 , 武小飞 , 饶光辉

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2013.01.010

复合靶以Fe,Co,Ag和Gd按一定比例组成,采用磁控溅射法制备了Gdx((Fe83Co17)55Ag45)100-x(x=0,3.5,5.0,6.5,8.0,9.5)颗粒膜.在室温下,利用X射线衍射仪(XRD)、四探针电阻测试仪、振动样品磁强计(VSM)等方法研究Gd的掺入以及不同退火温度对颗粒膜显微结构、巨磁电阻效应(GMR)和磁性能影响.X射线衍射实验结果表明:薄膜形成了以Ag(111)和FeCo(110)组成的合金结构,且增加稀土Gd的掺入量能促进薄膜基体中FeCo与Ag的相分离.磁电阻测试结果发现:不同成分的cdx((Fe83Co17)55Ag45)100-x(x=0,3.5,5.0,6.5,8.0,9.5)薄膜样品均随着退火温度升高以及稀土Gd含量增加,颗粒膜巨磁电阻(GMR)效应呈现先增后减的趋势,且饱和场逐渐降低,当x=5.0、退火温度250℃时,Gd5.0((Fe83Co17)55Ag45)95.0薄膜巨磁电阻效应达到最大,GMR值为-14.8%.Gd掺杂后样品磁滞回线的变化表明薄膜的矫顽力较小,矩形比随Gd含量的增加而增加,分析认为Gdx((Fe83 Co17)55Ag45)100-x薄膜具有良好的软磁性能.

关键词: 颗粒膜 , 巨磁电阻效应 , Gd掺杂

退火、稀土Pr对Prx(Co40Ag60)100-x颗粒膜的结构与巨磁电阻效应的影响

成钢 , 吴勇 , 顾正飞 , 成钧 , 郑富强 , 李锐锋 , 邓婷

稀有金属材料与工程

采用磁控溅射法制备Pr<,x>(Co<,40>Ag<,60>)<,100-x>颗粒膜.X射线衍射实验结果表明:稀土元素Pr有促进薄膜中溶于Ag中的Co发生相分离的作用,并且在退火过程Ag颗粒的聚集生长具有(111)轴择优取向的颗粒膜;巨磁电阻(GMR)效应测量结果表明:当退火温度小于或等于250℃时,随着Pr含量的增加,薄膜的GMR值先升后降,其峰值出现在x=0.5~1.0处.适量的Pr元素能够增强GMR效应以及提高GMR效应对磁场的灵敏度,GMR效应以及灵敏度的最大值分别为:-14.34%和0.67×10<'-3>(A/m)<'-1>.

关键词: 巨磁电阻效应 , 颗粒膜 , 磁性颗粒

(Fe0.86Zr0.033Nb0.033B0.068Cu0.01)x(Al2O3)1-x颗粒膜的霍耳效应

王飞 , 倪刚 , 张筱晓 , 张凤鸣 , 都有为

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2003.05.013

用磁控溅射方法制备了系列(Fe0.86Zr0.033Nb0.033B0.068Cu0.01)x(Al2O3)1-x颗粒膜样品, 体积百分比x从0.33~0.63, 样品厚度约为100 nm. 室温下在Fe0.86Zr0.033Nb0.033B0.068Cu0.01体积百分比x=0.43时得到17.5 μΩ*cm的最大饱和霍耳电阻率, 比纯铁磁金属提高了3~4个量级. 对其磁性和微结构进行了研究, 样品霍耳电阻率随外场的变化曲线ρxy~H与磁场平行于膜面时的磁化曲线M~H有相似性, 说明霍尔电阻率ρxy与磁化强度M相关. 样品电阻率ρxx随金属体积百分比x的减小而增加, 在x=0.43附近发生突变, 从金属导电变为绝缘体. 根据微结构和输运性质对可能的机制进行了探讨.

关键词: 颗粒膜 , 霍耳效应 , 微结构

FePt单层连续膜和颗粒膜的制备与磁性能研究

王建省 , 裴文利 , 杨波 , 李松 , 任玉平 , 秦高梧

功能材料

利用磁控溅射在不同Ar气压下制备了不同膜厚的FePt薄膜。利用透射电镜(TEM)研究了溅射气压和膜厚对薄膜形貌的影响,利用振动样品磁强计(VSM)研究了溅射气压和膜厚对薄膜磁性能的影响。结果表明溅射气压和膜厚对溅射态单层FePt薄膜的表面形貌、颗粒尺寸有很大影响。随着溅射气压的增大,颗粒尺寸减小,从连续膜转变成颗粒膜;随着膜厚的增加,颗粒尺寸变大,从颗粒膜变成连续膜。通过调节溅射气压可以控制FePt的岛状结构,从而获得较理想的FePt颗粒薄膜。溅射气压和膜厚对经过热处理的L10-FePt薄膜的磁性能有很大影响。随着溅射气压增加,形核场由正值转变成负值,矩形比有增大趋势;随着厚度的增加,无序-有序相转变更充分。

关键词: 颗粒膜 , L10-FePt , 溅射参数

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