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Er2O3栅介质积累端电容频率色散效应的研究

姚博 , 方泽波 , 朱燕艳 , 陈圣 , 李海蓉

功能材料

采用分子束外延(MBE)方法在Si(001)衬底上生长了Er2O3薄膜。高分辨率透射电子显微镜(HRTEM)测试显示Er2O3薄膜保持了在衬底上完好的外延,样品为均匀的单晶结构。将单晶Er2O3薄膜制备成MOS结构并对其做电容-电压(C-V)测试时,发现样品在高频时积累端电容出现了很大程度的频率色散现象。为了解释这种现象,提出了样品中存在缺氧层的结构模型。对该模型等效电路阻抗表达式推导得到了电容-频率方程,并将此方程与实验数据进行拟合,得到的图形、变量参数表明,未完全氧化的插入层是高频MOS C-V测试出现频率色散现象的主要原因。因此认为要消除Er2O3栅介质积累端的频率色散效应,需要尽量减少或避免缺氧层的形成。

关键词: Er2O3 , 高频C-V测试 , 高k栅介质 , 频率色散

高居里温度铁电体0.20Pb(Fe1/2Nb1/2)O3-0.32PbZrO3-0.48PbTiO3的性能

李乐庆 , 方必军

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2007.04.020

用传统的陶瓷工艺、通过B位氧化物预合成法制备了高质量、钙钛矿结构的0.20Pb(Fe1/2Nb1/2)O3-0.32PbZrO3-0.48PbTiO3(PFN20-PZ32-PT48)铁电陶瓷,该条件下制备的铁电陶瓷呈现相当均匀的微结构和良好的电学性能.PFN20-PZ32-PT48具有较大的室温介电常数(~410)、高的居里温度(TC,~350℃),在295K<T<525K温度区间,具有较小的介电常数温度梯度(a)ε/(a)T=2.8/℃,并且介电常数与频率无关,特别适合高温电容器工业的应用.虽然PFN20-PZ32-PT48呈现较为典型的一级铁电相变,其介电性能在顺电相区呈现明显的频率色散现象,并伴随着介电常数和损耗的反常增加.该反常现象的产生可能与陶瓷烧结过程中Fe3+被部分还原成Fe2+离子所诱导产生的热激发的空穴导电机制有关.PFN20-PZ32-PT48的剩余极化(Pr)与频率的关系可以很好地用随机场模型模拟,表明其弛豫行为的产生与短程化学有序所诱导产生的极性簇和/或纳米尺寸的非均匀性有关.

关键词: B位氧化物预合成 , 铌铁酸铅基 , 频率色散 , 介电损耗

左手系材料对称平板结构中的波导模

王兴林 , 王奇 , 施解龙 , 申明

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2006.05.027

考虑由左手系材料作覆层衬底的对称波导系统,研究了TE线性极化波在该波导中的传播特性.利用直接图解法对各种波导模式进行了详细地判别,结果表明快波、慢波均可以在该波导中传播,两者的模式特征与传统介电波导及左手波导均存在较大差异.分析了导波的色散关系并定性地讨论了群速度随频率的变化规律.揭示了在一定条件下,该波导系统既可以支持前向线性TE波的传播也可以支持反向线性TE波的传播,且支持低阶快波偶模式和慢波奇模式传播的频率段相对狭窄.

关键词: 光电子学 , 左手系材料 , 导波 , 频率色散 , 群速度

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