郑群
,
陈云贵
,
吴朝玲
,
王绍荣
,
陶明大
,
涂铭旌
稀有金属材料与工程
制备了高电导的La0.5Sr0.5CoO3块样,其800℃电导率为238 S/cm.通过磁控溅射将La0.5Sr0.5CoO3涂覆在Fe-13Cr合金表面,再进行800℃等温氧化100 h.SEM分析发现,Fe-13Cr基体中的Cr和Mn向涂层表面外扩散,同时涂层中的La,Sr及Co原子向合金基体内部扩散.电阻测试发现,氧化过程中,形成的反应层并没有显著降低试样的面电阻,800℃等温氧化100 h后的面电阻为6 mΩ·cm2.
关键词:
涂层
,
Fe-13Cr合金
,
面电阻
,
显微组织
吴云龙
,
成惠峰
,
余刚
,
王永斌
,
韩磊
,
付静
材料科学与工程学报
透明导电薄膜的厚度制约其光电性质。本研究利用磁控溅射技术制备了厚度变化范围为200-1500nm的ITO薄膜,探索了薄膜颜色、可见光透过率、面电阻与膜厚的关系。薄膜颜色随着膜厚的增加呈现有规律的变化,可见光透过率随薄膜厚度的增加而呈现振荡下降趋势,并出现了极大值（紫红色）,振荡趋势可用多光束干涉解释;薄膜面电阻随膜厚的增加呈减小趋势,薄膜厚度为1387nm时,面电阻为1.3Ω/□,薄膜最小电阻率为1.8×10-4Ω.cm。文章给出了可以通过选择恰当的薄膜厚度,以尽可能满足透明导电薄膜面电阻、透过率两个相互矛盾的指标。
关键词:
ITO
,
可见光透过率
,
面电阻
,
透明导电氧化物
