吴雷
,
李铁
,
王立春
,
王翊
,
王跃林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.04.015
针对微机械面型微加热器,采用解析方法对加热器在真空和大气下的温度分布,以及均热器对加热器温度分布的影响进行了深入分析.分析结果表明,真空下环形加热电阻可以达到较好的大面积均温效果,而大气下的加热电阻应尽可能小同时尽可能分布在整个加热区内,分析的结果经ANSYS有限元模拟和样品制作测试,与实际情况吻合较好.
关键词:
微电子机械系统
,
面型微加热器
,
热分析
