李朝升
,
王先平
,
方前锋
,
S.Veprek
,
李世直
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2003.11.019
利用振簧技术测量了不同退火状态下的nc-TiN/a-Si3N4超硬薄膜的Young's模量和内耗随温度的变化关系.在280-300℃附近观察到一个弛豫内耗峰.随着退火温度的升高,该内耗峰逐渐减弱,而Young's模量变化不大.750℃退火后,该内耗峰消失,而模量却从未退火时的430 GPa激增至530 GPa.初步认为该内耗峰来源于非稳定界面的弛豫过程.
关键词:
纳米TiN/非晶Si3N4薄膜
,
内耗
,
Young's模量
,
非稳定界面
