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表面活性剂对电沉积镍/纳米二氧化钛复合层的影响

陈玉梅 , 左正忠 , 杨磊 , 王志军

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2005.05.007

纳米TiO2在镀镍液中团聚严重,为选择能有效抑制纳米微粒团聚并使其充分分散的添加剂,在镍/纳米TiO2复合镀镍液中添加所选用的几种表面活性剂作为添加剂,研究其对微粒的复合量和表面形貌的影响.结果表明,阴离子表面活性剂或阴离子与非离子表面活性剂的联合使用会更好地改善微粒在镀液中的分散性,并能提高微粒在镀层中的含量.

关键词: 表面活性剂 , 复合电沉积 , 纳米TiO2 , 离子型表面活性剂 , 非离子型表面活性剂

非离子型聚氨酯表面活性剂的合成及其性能

石元昌 , 吴佑实 , 张丽

高分子材料科学与工程

以4,4′-二苯甲烷二异氰酸酯、蓖麻油、聚乙二醇和甲醇为原料,通过逐步聚合得到一种新型的表面活性剂,并用红外光谱对其结构进行了表征.对该表面活性剂在水相中表面活性进行测试,结果表明,所制备出的聚氨酯表面活性剂的临界胶束浓度约为10-3 mol/L,水溶液的最低表面张力可达30 mN/m.

关键词: 水性聚氨酯 , 非离子型表面活性剂 , 4,4′-二苯甲烷二异氰酸酯 , 红外光谱

新型非离子水性聚氨酯表面活性剂的制备及性能

曾小君 , 郁燕萍

高分子材料科学与工程

采用甲苯-2,4-二异氰酸酯(TDI)、蓖麻油和聚乙二醇(PEG)等为主要原料,通过逐步聚合得到一种新型非离子水性聚氨酯表面活性剂,并利用红外光谱对其结构进行了表征.实验结果表明,当蓖麻油∶TDI∶PEG-4000=1∶9∶11时,采用依次加入蓖麻油、TDI、PEG的加料方式,能够合成得到综合性能较好的非离子水性聚氨酯表面活性剂.对该表面活性剂在水相中的表面活性进行了测试,结果表明,所制得的非离子水性聚氨酯表面活性剂的临界胶束浓度约为22 g/L,水溶液的最低表面张力可达53 mN/m.

关键词: 水性聚氨酯 , 非离子型表面活性剂 , 蓖麻油 , 聚乙二醇 , 甲苯-2,4-二异氰酸酯

多元胺醇型表面活性剂对铜晶圆平坦化的影响

闫辰奇 , 刘玉岭 , 张金 , 张文霞 , 王辰伟 , 何平 , 潘国峰

电镀与涂饰

研究了一种多元胺醇型非离子表面活性剂对铜化学机械抛光(CMP)液粒径及分散度、抛光速率、抛光后铜膜的碟形坑高度、表面非均匀性和表面粗糙度的影响.抛光液的基本组成和工艺条件为:SiO2(粒径60 ~ 70 nm) 5%(体积分数,下同),多羟多胺螯合剂3%,30%(质量分数)过氧化氢3%,工作压力1 psi,背压1 psi,抛头转速87 r/min,抛盘转速93 r/min,抛光液流量300 mL/min,抛光时间60 s,抛光温度23℃.结果表明,表面活性剂的引入可提高抛光液的稳定性.当表面活性剂含量为3%时,抛光速率、抛光后碟形坑高度、表面非均匀性和表面粗糙度分别为614.86 nm/min、76.5 nm、3.26%和0.483 nm,对铜晶圆的平坦化效果最好.

关键词: , 晶圆 , 化学机械抛光 , 平坦化 , 非离子型表面活性剂 , 机理

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