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李光 , 郑艳彬 , 王文龙 , 姜志刚
硅酸盐通报
非晶铟镓锌氧化物(a-IGZO)薄膜,作为一种新型透明氧化物半导体材料,最近引起了广泛关注.这主要是由于它优异的性能可以使它作为薄膜晶体管的有源层材料,在显示行业有巨大的应用前景.本文首先介绍了铟镓锌氧化物的结构,同时综述了非晶铟镓锌氧化物薄膜的制备方法,包括溅射、悬涂和喷墨印刷技术；最后对基于铟镓锌氧化物薄膜晶体管背板技术的产业化进行了展望.
关键词: 非晶铟镓锌氧化物 , 薄膜 , 溅射 , 悬涂 , 喷墨印刷
詹润泽 , 谢汉萍 , 董承远
液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20132801.0055
采用透明材料ITO和AZO为源漏电极,在室温下利用射频磁控溅射方法制作了底栅结构的非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管.实验发现,制备的薄膜晶体管均表现出了良好的开关特性.其中采用AZO为电极的薄膜晶体管的场效应迁移率为1.95 cm2/V·s,开关比为4.53× 105,在正向偏压应力测试下,阈值电压的漂移量为4.49V.
关键词: 薄膜晶体管 , 透明电极 , 非晶铟镓锌氧化物
