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PECVD制备富硅氮化硅薄膜的工艺条件及其性质的研究

张龙龙 , 周炳卿 , 张林睿 , 高玉伟

硅酸盐通报

采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)以SiH4和N2为反应气体,分别在射频功率、硅烷稀释度[SiH4/N2]、衬底温度为变量的情况下制备了富硅氮化硅薄膜材料,利用X射线衍射谱(XRD)、傅里叶变换红外谱(FTIR)、紫外-可见光吸收谱(UV-Vis)对薄膜材料进行了表征,并研究了薄膜材料的微结构和晶化状况、光学特性等.实验结果表明,所沉积薄膜都为富硅的非晶氮化硅材料,改变射频功率、硅烷稀释度和衬底温度可以控制氮化硅薄膜中N元素的含量、光学带隙的大小和薄膜的折射率,并制备出最适宜富硅氮化硅薄膜,为进一步退火析出硅量子点奠定了基础.

关键词: PECVD , 富硅氮化硅薄膜 , 非晶结构 , 光学带隙

Zr55Al10Ni5Cu30大块非晶合金等温挤压特性

马智慧 , 董湘怀 , 苏红娟 , 王茹燕

稀有金属材料与工程

在703K对Zr55Al10Ni5Cu30大块非晶合金进行不同挤压速度的等温挤压实验,Zr55Al10Ni5Cu30大块非晶合金的高温本构模型用一种简单的扩展指数模型来描述,并将该本构模型代入有限元软件模拟挤压过程:在挤压稳定阶段,模拟结果与实验结果非常吻合;在不同挤压速度下,Zr55Al10Ni5Cu30大块非晶合金未发生明显晶化,但挤压试样的过冷液相区间随挤压时间的增加而减小.

关键词: 等温挤压 , 非晶结构 , 热特性 , 过冷液态 , 成形

CoB催化剂制备中的溶剂效应及催化硼氢化钠水解产氢的性能

沈晓晨 , 戴敏 , 高鸣 , 赵斌 , 丁维平

催化学报 doi:10.1016/S1872-2067(12)60577-4

分别以不同粘度和极性的水、甲醇、乙醇、正丙醇为溶剂制备了钴硼催化剂,并通过X射线衍射、场发射扫描电镜、透射电镜、X射线光电子能谱和N2吸附等表征手段对溶剂效应进行了深入探索.所制备的钴硼催化剂具有非晶结构,且随着溶剂粘度的增加,粒子团聚现象加剧.不同溶剂中制备的钴硼催化剂对于硼氢化钠水解产氢反应的活性具有显著差异,XPS测试表明钴元素和硼元素均以元素态及氧化态形式存在,而且不同溶剂中制备的钴硼催化剂具有不同的表面钴/硼比,具有高钴/硼比的催化剂有更好的催化性能.从溶剂的粘度、溶剂分子的空间位阻效应等方面对溶剂效应进行了分析,并提出了钴硼催化剂在不同溶剂中可能的形成机理.

关键词: 硼氢化钠 , 水解 , 产氢 , 钴硼 , 非晶结构 , 溶剂效应

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