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低温制备高质量多晶硅薄膜技术及其应用

黄创君 , 林璇英 , 林揆训 , 余楚迎 , 姚若河

功能材料

多晶硅薄膜是集晶体硅材料和非晶硅氢合金薄膜优点于一体,在能源科学、信息科学的微电子技术中有广泛应用的一种新型功能材料.本文综述低温(<600℃)制备高质量多晶硅薄膜技术的研究进展及其应用,着重讨论用等离子体化学气相沉积(PECVD)硅基薄膜固相晶化制备多晶硅技术及其在薄膜硅太阳能电池上的应用.

关键词: 多晶硅 , 固相晶化 , 非晶硅氢合金薄膜 , 薄膜硅太阳能 电池

a-Si∶H叠层薄膜太阳电池的最佳设计的计算机模拟

王红成 , 林璇英 , 曾晓华

功能材料

为了更好地利用太阳光谱,提高电池效率,可以在单结电池最佳设计的基础上采用叠层技术.本文对a-Si∶H叠层薄膜太阳电池进行了计算机模拟, 提出各层电池的禁带宽度最佳匹配以及各层电池本征层的最佳厚度的设计方案.计算表明,当单结电池效率为12.09%时,三叠层电池的效率增加至16.93%,但进一步增加电池的层数,电池效率的增加变得缓慢.另外,禁带宽度对本征层最佳厚度也有一定的依赖关系.禁带宽度越大,本征层最佳厚度也越大.

关键词: 叠层太阳能电池 , 本征层最佳厚度 , 禁带宽度 , 非晶硅氢合金薄膜

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