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聚焦离子束研磨Au-Ti-GaAs薄膜引起损伤的研究

谭勇文 , 徐天伟 , 谢雪冰 , 杨卫国 , 杨海

材料导报

通过分析纳米孔的透射电子显微镜(TEM)截面图像和蒙特卡罗理论模拟,研究了聚焦离子束(FIB)研磨Au-Ti-GaAs薄膜的基本性能.应用蒙特卡罗方法模拟FIB研磨三层薄膜的损伤深度与离子能量大小的关系,由于材料不同的阻止本领和晶体结构等因素对损伤深度的影响,随着离子能量的增大,损伤深度并非线性增加.同时,溅射物质的重沉积也影响着纳米孔的形貌,对此也作了系统的分析和探讨.

关键词: 聚焦离子束 , 非晶层 , 蒙特卡罗方法 , 光电子器件

钽表面非晶层的制备方法

周喆 , 罗文 , 张德元 , 曾卫军 , 付青峰 , 廖钟亮

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2002.08.014

采用低温离子渗氮后再熔盐阳极化的方法,在钽表面形成厚度达微米数量级的非晶态层,测试了非晶层的成分、相结构和性能.结果表明,该非晶层相对于直接阳极化层,组织致密、硬度高、粗糙度低、电阻高.

关键词: , 非晶层 , 制备 , 渗氮 , 阳极化

高温陶瓷及其复合材料界面非晶层理论模型的研究进展

郝桂亮 , 徐强 , 朱时珍 , 王富耻

材料导报

界面非晶层对高温陶瓷及其复合材料的性能有直接的影响,界面非晶层理论模型为深入研究这些材料界面提供了理论基础.运用界面的非晶层理论模型可以对界面非晶层的特征、形成机制等进行系统研究和综合分析.简要介绍了力平衡模型、扩散界面模型、吸附、偏析和润湿模型等几种界面非晶层理论模型的研究和应用现状,并指出了目前存在的主要问题及未来研究的方向.

关键词: 界面 , 非晶层 , 高温陶瓷 , 复合材料 , 理论模型

金属有机化学气相沉积法生长AlN/Si结构界面的研究

于乃森 , 苗雨 , 王勇 , 邓冬梅 , 刘东平

材料导报

采用金属有机化学气相沉积法在Si(111)衬底上生长了AlN外延层.高分辨透射电子显微镜显示在AlN/Si界面处存在非晶层,俄歇电子能谱测试表明Si有很强的扩散,拉曼光谱测试表明存在Si-N键,另外光电子能谱分析表明非晶层中存在Si3N4.研究认为MOCVD高温生长造成Si的大量扩散是非晶层存在的主要原因,同时非晶Si3N4层也将促使AlN层呈岛状生长.

关键词: 金属有机化学气相沉积 , 氮化铝 , 非晶层

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