李晓杰
,
张越举
,
王金相
,
李瑞勇
,
赵铮
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2004.01.004
对ITO商业复合粉末应用爆炸冲击方法压实烧结,并对样品进行了XRD和ESM检测.通过粉末和压实后样品的XRD图及SEM照片的比较,发现在爆炸冲击压实纳米ITO陶瓷粉末时,能够使晶粒度减小,有助于后续烧结密实过程中控制ITO靶材的晶粒度的过分长大;SEM图片显示,在1200℃烧结的靶材微观结构比较均匀...
关键词:
ITO
,
陶瓷靶材
,
爆炸压实烧结
,
致密化
徐玮
,
于军
,
王晓晶
,
袁俊明
,
雷青松
材料导报
利用射频磁控溅射法,采用氧化锌铝(98%ZnO+2%Al2O3)为靶材,在普通载玻片上制备了ZAO(ZnO∶Al)薄膜,研究了溅射功率及溅射气压对薄膜晶体结构、电学和光学性能的影响.采用X射线衍射仪、场扫描电镜对薄膜的结构及表面形貌进行了分析,采用分光光度计和电阻率测试仪对薄膜的光电学性能进行了测试...
关键词:
磁控溅射
,
陶瓷靶材
,
电阻率
,
透过率
,
ZnO:Al薄膜
张树高
,
扈百直
,
吴义成
,
方勋华
,
黄伯云
功能材料
用化学共沉淀法制备了铟锡氧化物(ITO)复合粉末.粉末经冷等静压成型后进行热等静压致密化.热等静压时采用碳钢作包套,采用铜箔作隔层.实验研究了热等静压工艺参数--保温温度、保压压力和保温时间对ITO陶瓷靶材致密化的影响.实验结果表明:靶材的相对密度在大约1000℃处有一峰值;相对密度随压力增加而增加...
关键词:
钢铝氧化物
,
陶瓷靶材
,
热等静压
,
致密化
李晓杰
,
张越举
稀有金属材料与工程
通过爆炸压实烧结纳米ITO粉末制备了ITO陶瓷靶材,结果表明爆炸冲击压实在靶材的后续烧结密实过程中起到了促进作用,它与常规的加压烧结相比,具有操作简单,设备要求低等很多优点.经过爆炸压实的烧结靶材具有细小的晶体颗粒,比商业靶材的晶粒度小约1个数量级.
关键词:
爆炸压实烧结
,
ITO
,
陶瓷靶材
