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杨春 , 卢文壮 , 左敦稳 , 徐锋 , 任卫涛
人工晶体学报
本文设计了一套用于HFCVD系统中轴承内圈NCD涂层制备的电极装置,同时在热交换过程的分析基础上对该系统进行了热流耦合分析.对进气参数进行优化后,衬底温度场及气体流场分布均匀.在数值分析的基础上,在氮化硅陶瓷内圈上成功制备了NCD膜.
关键词: NCD , 陶瓷轴承 , 涂层 , 热流耦合分析 , 有限元
文怀兴 , 孙建建 , 陈威
材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2015.017.002
针对氮化硅陶瓷轴承润滑的研究现状,通过对氮化硅陶瓷轴承摩擦及磨损机理的分析,系统阐述了氮化硅陶瓷轴承现有的润滑技术,包括水(基)润滑、油(基)润滑、气体润滑、自润滑及其他润滑;介绍了有关氮化硅陶瓷轴承润滑技术的发展趋势,分析讨论了现有氮化硅陶瓷轴承润滑存在的问题,并对今后氮化硅陶瓷轴承的润滑技术进行了展望.
关键词: 氮化硅 , 陶瓷轴承 , 润滑技术
