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陶瓷微珠的抛光研究

张辛玥 , 杨金龙 , 黄勇

稀有金属材料与工程

通过对氧化铝、莫来石陶瓷微珠进行抛光研究.研究了不同抛光条件,水基、油基等不同基体,不同磨料对于微珠抛光效果的影响.证实氧化铈对微珠抛光有良好效果,并尝试从微观角度分析原因.

关键词: 陶瓷微珠 , 抛光 , CMP