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TFT栅线及阵列的缺陷分析

柳江虹 , 马凯

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.1999.02.008

对TFT(Thin Film Transistor)的栅线及阵列缺陷的表现及成因进行了分析.在实际工艺过程中避免这些缺陷有利于提高器件成品率,改善显示质量.

关键词: TFT器件 , 阵列缺陷 , 刻蚀