张旭
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谢锡善
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董建新
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徐重
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张通和
中国有色金属学报
研究了双层辉光放电条件下镍基合金Inconel 625的阴极溅射行为。 结果表明： 多组元镍基合金由于各组元溅射率不同， 产生择优溅射现象。 Mo， Nb等低溅射率元素在阴极表面富集， Ni， Cr等高溅射率元素在阴极表面贫化， 使阴极表面发生相变， 形成含Mo， Nb较高的金属间化合物析出相P相和Laves相。 随着阴极溅射电压的增加， 阴极合金元素溅射率增加； 并且随着阴极温度升高， 阴极溅射率也随之增加。
关键词:
双层辉光
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阴极溅射
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镍基合金
陈飞
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张跃飞
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潘俊德
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唐宾
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窦瑞芬
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徐重
稀有金属材料与工程
设计了一种网状阴极溅射靶,它是由多个空心阴极并列交叉组合而成.结构简单,溅射率高.将其用于双层辉光离子渗钽中,在钛合金(Ti-6Al-4V)表面可形成纯Ta沉积层和合金扩散层的复合层组织,进一步提高了钛合金的 耐蚀性,是一种高耐蚀合金.
关键词:
Ti-6Al-4V
,
阴极溅射
,
渗镀钽
陈飞
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潘俊德
,
窦瑞芬
,
张跃飞
,
唐宾
,
徐重
材料热处理学报
doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2002.01.015
研究设计了一种网状阴极溅射靶,它是由多个空心阴极并列交叉组合而成.结构简单,溅射率高.将其用于双层辉光离子渗钽中,在钛合金 TC4(Ti-6Al-4V)表面可形成纯Ta沉积层和合金扩散层的复合层组织,进一步提高了钛合金的耐蚀性,是一种高耐蚀合金.
关键词:
TC4(Ti-6Al-4V)
,
阴极溅射
,
渗镀钽
任建世
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张功杼
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王桢枢
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刘根
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刘圣麟
金属学报
在恒定气压和电压条件下,用测量溅射减量的方法,系统研究了Cr—Fe,Bi-Sb,Cu—Zn,Ag—Cu,Al-Zn和Cd—Sn六个系统的25个试样在辉光放电灯中溅射率与组分的关系结果表明;阴极溅射在稳态时,二元合金(不形成金属间化合物)的溅射率与组元浓度的普遍关系是双曲线,只有在某些特殊情况下,两组元的溅射率相差不大时,可以近似看成线性关系。
关键词:
二元合金
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glow discharge
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binary alloy
,
sputtering rate
