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有机薄膜晶体管阈值电压漂移现象的研究

袁剑峰 , 闫东航 , 许武

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2004.03.003

研究了有机薄膜晶体管(Oganic thin film transistor,OTFT)的阈值电压漂移与栅偏置电压和偏置时间的关系、不同栅绝缘膜对OTFT阈值电压漂移的影响以及不同栅绝缘膜MIS结构的C-V特性.结果发现,栅偏置电压引起了OTFT转移特性曲线的平移而场效应迁移率(μFE)和亚阈值陡度(ΔS)不变;阈值电压漂移的量与偏置时间的对数呈线性关系.还发现阈值电压漂移量与栅绝缘膜绝缘性能有关,绝缘性能好的绝缘膜(如SiO2)器件阈值电压漂移量小,绝缘性能差的绝缘膜(如TaOx)器件阈值电压漂移量大.认为有机晶体管阈值电压漂移是由沟道载流子以直接隧穿方式进入栅绝缘膜内的陷阱造成的.

关键词: 有机薄膜晶体管 , 阈值电压漂移 , 栅绝缘膜陷阱 , C-V特性

驱动AM-OLED的2-a-Si:H TFT的设计与制作

刘金娥 , 廖燕平 , 齐小薇 , 高文涛 , 荆海 , 付国柱 , 李世伟 , 邵喜斌

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2006.06.014

a-Si:H/SiNx:H TFT在长时间栅偏应力作用下,会产生阈值电压漂移,这主要是由绝缘层电荷注入和有源层亚稳态产生而引起的.针对电荷注入现象,文章首先通过控制源气体SiH4和NH3流量的不同,利用PECVD制作了不同N/Si比(0.87~1.68)的氮化硅绝缘材料,对其进行了椭偏、红外和光电子散射能谱(EDS)测试.制作了不同的MIS结构电容,对其进行老化实验和C-V测试分析,结果表明稍富氮(N/Si比稍大于标准Si3N4的化学计量比1.33)的氮化硅做成的MIS样品在老化前后C-V曲线偏移不是很明显,表明其缺陷态密度相对较小,能够有效减小半导体/绝缘层界面间的电荷注入.设计了驱动OLED的2-a-Si:H TFT像素电路及其阵列版图,优化了电路中的几个关键参数,即T1的W/L=2.5、T2的W/L=25和存储电容Cs=0.8 pF.运用7PEP生产工艺,制作了13 cm(5.2 in)的TFT阵列样品.对TFT进行I-V特性测试,其开态电流为10 μA,开关比为106;对AMOLED显示屏样品进行了静态驱动下的亮度测试,其最高亮度为341 cd/m2.

关键词: OLED , 阈值电压漂移 , N/Si , C-V , 2-a-Si:HTFT

a-Si:H-TFT阈值电压漂移机理及其在驱动OLED显示中的补偿设计

刘金娥 , 廖燕平 , 荆海 , 张志伟 , 付国柱 , 邵喜斌

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2006.05.018

分析了a-Si:H-TFT阈值电压漂移的机理,即分析了栅偏应力下电荷注入到SiNx:H栅绝缘层和a-Si:H中亚稳态的产生对TFT阈值电压漂移的影响.根据非晶硅中亚稳态产生的特点,并针对驱动OLED的两管a-Si:H-TFT像素电路,提出了一种通过对数据信号时序的重新设计来补偿阈值电压漂移的方法,即在数据信号间加插一个与数据信号极性相反的补偿信号.通过这种正负交替的信号,使驱动管TFT中由亚稳态造成的阈值电压漂移始终保持在一个动态平衡的过程,来实现驱动OLED电流稳定的目的.

关键词: OLED , a-Si:H-TFT , 阈值电压漂移 , 电荷注入 , 亚稳态 , 补偿方法

几种电流型AM OLED像素电路及其电流缩放比的分析

王龙彦 , 王中健 , 马仙梅 , 付国柱 , 荆海

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2009.02.010

分析了4种典型的电流型AM OLED像素驱动电路的工作原理,从中总结出了补偿阈值电压漂移的方法--自动调节存储电容的电压以保证电流不变.着重提出了电流缩放比的定义,对传统结构、电流镜结构、分压结构和电容耦合结构这4种电流型AM OLED像素驱动电路的电流缩放比进行了比较和分析.在这4种电路中,电流缩放比依次增大,显示出电流型像素电路在解决电容充电时间问题上的进步与完善.

关键词: 有源矩阵OLED , 电流型像素电路 , 薄膜晶体管 , 阈值电压漂移 , 电流缩放比

IGZO TFT与ZnO TFT的性能比较

吴为敬 , 颜骏 , 许志平 , 赖志成

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20112602.0147

分析比较了ZnO TFT与IGZO TFT的主要光电学特性以及阈值电压稳定性.结果表明:ZnO薄膜与IGZO薄膜在可见光波长范围内都有着较高的光学透过率;在同等制备条件下,IGZO TFT器件的场效应迁移率、开关电流比、阈值电压及亚阈值系数等方面的特性均明显好于ZnO TFT;二者都有着较低的泄漏电流,并且差别很小.另外,ZnO TFT在正负偏压下阈值电压都有漂移,而IGZO TFT在正偏压下阈值电压漂移比ZnO TFT的小且在负偏压下阈值电压没有漂移,由此可见IGZO TFT比ZnO TFT有着更好的稳定性.总之,IGZO薄膜比ZnO薄膜更适合作为下一代TFT的有源层材料.

关键词: ZnO TFT , IGZO TFT , 性能比较 , 光电特性 , 阈值电压漂移

氧分压对铟镓锌氧薄膜晶体管性能影响

孙建明 , 周婷婷 , 任庆荣 , 胡合合 , 陈宁 , 宁策 , 王路 , 刘文渠 , 李东升

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20163106.0558

采用标准的液晶显示屏基板制备工艺制备出铟镓锌氧薄膜晶体管(IGZO-TFT),通过调节 IGZO 薄膜工艺中氧分压,研究不同氧分压对TFT器件电学性能的影响.实验结果表明,所有器件都展现出良好的电学特性,随着氧分压从10%增加到50%,TFT的阈值电压由0.5 V增加到2.2 V,而亚阈值摆幅没有发生变化.在栅极施加30 V偏压3600 s后,随着氧分压的增加,阈值电压向正向的漂移量由1 V增加到9 V.经过分析得出高氧分压的 IGZO-TFT器件中载流子浓度低,建立相同导电能力的沟道时所需要栅极电压会更大,阈值电压会增加.而在金属-绝缘层-半导体(MIS)结构中低载流子浓度会导致有源层能带弯曲的部分包含更多与电子陷阱相同的能态,栅介质层(GI)会俘获更多的电子,造成阈值电压漂移量较大的现象.

关键词: 铟镓锌氧薄膜晶体管 , 氧分压 , 阈值电压漂移 , 电子积累层

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