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检索条件：关键词=闭合状态
蒋百灵 , 文晓斌 , 栾亚 , 丁小柯 , 李显
材料热处理学报
利用非平衡磁控溅射离子镀技术于不同磁控管非平衡度和磁场闭合状态下在单晶硅基体上制备出Cr镀层,采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪分析了不同生长阶段Cr镀层的微观形貌、表面粗糙度和晶体择优牛长趋势的变化.结果表明:磁控管非平衡和磁场闭合状态的改变显著影响着Cr镀层生长过程中的结晶取向、表面粗糙度和致密度...
关键词: 磁控管非平衡度 , 闭合状态 , 磁控溅射离子镀 , 粗糙度 , 择优取向
栾亚 , 丁小柯 , 蒋百灵 , 鲁媛媛
人工晶体学报
利用非平衡磁控溅射离子镀技术于不同磁场闭合状态下在单晶硅基体上制备出Cr膜,采用扫描电子显微镜和X射线衍射仪观察并分析了不同闭合状态下镀层的微观形貌和晶体择优生长趋势.结果表明:闭合状态显著影响着Cr膜生长过程中的柱状晶取向和致密度.不闭合状态下,Cr膜截面组织为典型疏松的柱状晶体组织,镀层沿(11...
关键词: 闭合状态 , 磁控溅射 , 择优取向
