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闭合场非平衡磁控溅射离子CrAlTiN镀层在PCB用微钻中的应用

种艳琳 , 蒋白灵 , 白力静

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2006.02.026

采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术在PCB微钻上进行复合金属镀层处理,通过与无镀层微钻进行钻削试验对比,结果表明:CrAlTiN镀层微钻使用寿命与无镀层微钻相比,寿命可提高3倍;具有纳米结构的高硬度镀层显著提高了微钻的耐磨性.

关键词: 闭合场 , 非平衡 , 磁控溅射 , 离子镀 , CrAlTiN镀层 , PCB微钻 , 寿命 , 耐磨性