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氮化硅薄膜制备和生长动力学研究进展

祝洪良 , 裴艳丽 , 杨德仁

材料导报

综述了氮化硅在微电子中的应用、制备,阐述了用氮气直接氮化的影响因素、膜生长的机理和动力学,以及未来的研究方向.

关键词: 氮化硅 , 氮化 , 动力学 , 硅生 , 长机理