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衬底对沉积碳纳米管薄膜的影响

樊志琴 , 李瑞 , 蔡根旺 , 杨培霞 , 程仁志

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2007.04.038

利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法,分别在不锈钢衬底上和刻线的镍膜上直接沉积了碳纳米管膜.通过SEM、拉曼光谱和XRD表征,讨论了不同衬底对碳纳米管膜生长的影响.结果表明:在一定条件下,可在镍膜上沉积垂直于衬底的高度取向的碳纳米管,但在不锈钢衬底上却长出取向无序的碳纳米管膜,这说明衬底对碳纳米管的取向生长起着关键作用.

关键词: 碳纳米管(CNTs) , 镍膜衬底 , 不锈钢衬底 , 拉曼光谱

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